Il-protezzjoni ambjentali tingħata aktar u aktar attenzjoni, speċjalment maż-żieda tat-temp taċ-ċpar.L-inġinerija tal-kamra nadifa hija waħda mill-miżuri ta 'protezzjoni ambjentali.Kif tuża l-inġinerija tal-kamra nadifa biex tagħmel xogħol tajjeb fil-protezzjoni ambjentali?Ejja nitkellmu dwar il-kontroll fl-inġinerija tal-kamra nadifa.
Kontroll tat-temperatura u l-umdità f'kamra nadifa
It-temperatura u l-umdità ta 'spazji nodfa huma ddeterminati prinċipalment ibbażati fuq ir-rekwiżiti tal-proċess, iżda meta jissodisfaw ir-rekwiżiti tal-proċess, il-kumdità tal-bniedem għandha titqies.Bit-titjib tar-rekwiżiti tal-indafa tal-arja, hemm tendenza ta 'rekwiżiti aktar stretti għat-temperatura u l-umdità fil-proċess.
Bħala prinċipju ġenerali, minħabba l-preċiżjoni dejjem tiżdied tal-ipproċessar, ir-rekwiżiti għall-firxa tal-varjazzjoni tat-temperatura qed isiru dejjem iżgħar.Pereżempju, fil-proċess ta 'litografija u espożizzjoni tal-produzzjoni ta' ċirkwit integrat fuq skala kbira, id-differenza fil-koeffiċjent ta 'espansjoni termali bejn wejfers tal-ħġieġ u silikon użati bħala materjali tal-maskra qed issir dejjem aktar żgħira.
Wejfer tas-silikon b'dijametru ta '100 μ m jikkawża espansjoni lineari ta' 0.24 μ m meta t-temperatura togħla bi grad 1.Għalhekk, temperatura kostanti ta '± 0.1 ℃ hija meħtieġa, u l-valur tal-umdità huwa ġeneralment baxx minħabba li wara l-għaraq, il-prodott ikun ikkontaminat, speċjalment f'workshops tas-semikondutturi li jibżgħu mis-sodju.Dan it-tip ta 'workshop m'għandux jaqbeż il-25℃.
Umdità eċċessiva tikkawża aktar problemi.Meta l-umdità relattiva taqbeż il-55%, se tifforma kondensazzjoni fuq il-ħajt tal-pajp tal-ilma li jkessaħ.Jekk iseħħ f'apparat jew ċirkwiti ta 'preċiżjoni, jista' jikkawża diversi inċidenti.Meta l-umdità relattiva hija 50%, huwa faċli li sadid.Barra minn hekk, meta l-umdità tkun għolja wisq, it-trab li jeħel mal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon ikun adsorbit kimikament fuq il-wiċċ permezz ta 'molekuli ta' ilma fl-arja, li huwa diffiċli biex titneħħa.
Aktar ma tkun għolja l-umdità relattiva, iktar ikun diffiċli li titneħħa l-adeżjoni.Madankollu, meta l-umdità relattiva tkun taħt it-30%, il-partiċelli huma wkoll faċilment adsorbiti fuq il-wiċċ minħabba l-azzjoni tal-forza elettrostatika, u numru kbir ta 'apparati semikondutturi huma suxxettibbli għal tqassim.Il-firxa tat-temperatura ottimali għall-produzzjoni tal-wejfer tas-silikon hija 35-45%.
Pressjoni tal-arjakontrollfil-kamra nadifa
Għal ħafna spazji nodfa, sabiex jiġi evitat li t-tniġġis estern jinvadi, huwa meħtieġ li tinżamm pressjoni interna (pressjoni statika) ogħla minn pressjoni esterna (pressjoni statika).Iż-żamma tad-differenza fil-pressjoni għandha ġeneralment tikkonforma mal-prinċipji li ġejjin:
1. Il-pressjoni fi spazji nodfa għandha tkun ogħla minn dik fi spazji mhux nodfa.
2. Il-pressjoni fi spazji b'livelli għoljin ta 'ndafa għandha tkun ogħla minn dik fi spazji ta' ħdejn xulxin b'livelli baxxi ta 'indafa.
3. Il-bibien bejn kmamar nodfa għandhom jinfetħu lejn kmamar b'livelli għoljin ta 'ndafa.
Iż-żamma tad-differenza fil-pressjoni tiddependi fuq l-ammont ta 'arja friska, li għandha tkun kapaċi tikkumpensa għat-tnixxija ta' l-arja mid-distakk taħt din id-differenza fil-pressjoni.Allura t-tifsira fiżika tad-differenza fil-pressjoni hija r-reżistenza tat-tnixxija (jew l-infiltrazzjoni) tal-fluss tal-arja permezz ta 'diversi lakuni fil-kamra nadifa.
Ħin tal-post: Lulju-21-2023