Il-ħarsien ambjentali qed jingħata dejjem aktar attenzjoni, speċjalment biż-żieda fit-temp taċ-ċpar. L-inġinerija tal-kamra nadifa hija waħda mill-miżuri ta' ħarsien ambjentali. Kif tuża l-inġinerija tal-kamra nadifa biex tagħmel xogħol tajjeb fil-ħarsien ambjentali? Ejja nitkellmu dwar il-kontroll fl-inġinerija tal-kamra nadifa.
Kontroll tat-temperatura u l-umdità f'kamra nadifa
It-temperatura u l-umdità ta' spazji nodfa huma prinċipalment determinati abbażi tar-rekwiżiti tal-proċess, iżda meta jintlaħqu r-rekwiżiti tal-proċess, għandu jitqies il-kumdità tal-bniedem. Bit-titjib tar-rekwiżiti tal-indafa tal-arja, hemm xejra ta' rekwiżiti aktar stretti għat-temperatura u l-umdità fil-proċess.
Bħala prinċipju ġenerali, minħabba l-preċiżjoni dejjem tiżdied tal-ipproċessar, ir-rekwiżiti għall-firxa tal-varjazzjoni fit-temperatura qed isiru dejjem iżgħar. Pereżempju, fil-litografija u l-proċess ta' espożizzjoni tal-produzzjoni ta' ċirkwiti integrati fuq skala kbira, id-differenza fil-koeffiċjent tal-espansjoni termali bejn il-wejfers tal-ħġieġ u tas-silikon użati bħala materjali tal-maskra qed issir dejjem iżgħar.
Wejfer tas-silikon b'dijametru ta' 100 μm jikkawża espansjoni lineari ta' 0.24 μm meta t-temperatura tiżdied b'grad wieħed. Għalhekk, hija meħtieġa temperatura kostanti ta' ± 0.1 ℃, u l-valur tal-umdità ġeneralment ikun baxx għaliex wara li l-prodott ikun qed jgħaraq, ikun ikkontaminat, speċjalment f'workshops tas-semikondutturi li jibżgħu mis-sodju. Dan it-tip ta' workshop m'għandux jaqbeż il-25 ℃.
Umdità eċċessiva tikkawża aktar problemi. Meta l-umdità relattiva taqbeż il-55%, il-kondensazzjoni tifforma fuq il-ħajt tal-pajp tal-ilma li jkessaħ. Jekk isseħħ f'apparati jew ċirkwiti ta' preċiżjoni, tista' tikkawża diversi inċidenti. Meta l-umdità relattiva tkun ta' 50%, huwa faċli li s-sadid isir. Barra minn hekk, meta l-umdità tkun għolja wisq, it-trab li jkun imwaħħal mal-wiċċ tal-wejfer tas-silikon jiġi assorbit kimikament fuq il-wiċċ permezz tal-molekuli tal-ilma fl-arja, li jkun diffiċli biex jitneħħa.
Iktar ma tkun għolja l-umdità relattiva, iktar ikun diffiċli li titneħħa l-adeżjoni. Madankollu, meta l-umdità relattiva tkun taħt it-30%, il-partiċelli jiġu assorbiti faċilment fuq il-wiċċ minħabba l-azzjoni tal-forza elettrostatika, u numru kbir ta' apparati semikondutturi huma suxxettibbli għall-ħsara. Il-medda ottimali tat-temperatura għall-produzzjoni tal-wejfer tas-silikon hija 35-45%.
Pressjoni tal-arjakontrollf'kamra nadifa
Għal ħafna spazji nodfa, sabiex jiġi evitat it-tniġġis estern milli jidħol, huwa meħtieġ li l-pressjoni interna (pressjoni statika) tinżamm ogħla mill-pressjoni esterna (pressjoni statika). Iż-żamma tad-differenza fil-pressjoni ġeneralment għandha tikkonforma mal-prinċipji li ġejjin:
1. Il-pressjoni fi spazji nodfa għandha tkun ogħla minn dik fi spazji mhux nodfa.
2. Il-pressjoni fi spazji b'livelli għoljin ta' ndafa għandha tkun ogħla minn dik fi spazji biswit b'livelli baxxi ta' ndafa.
3. Il-bibien bejn il-kmamar nodfa għandhom jinfetħu lejn kmamar b'livelli għoljin ta' ndafa.
Iż-żamma tad-differenza fil-pressjoni tiddependi fuq l-ammont ta' arja friska, li għandha tkun kapaċi tikkumpensa għat-tnixxija tal-arja mid-distakk taħt din id-differenza fil-pressjoni. Għalhekk, it-tifsira fiżika tad-differenza fil-pressjoni hija r-reżistenza għat-tnixxija (jew infiltrazzjoni) tal-fluss tal-arja minn diversi distakkijiet f'kamra nadifa.
Ħin tal-posta: 21 ta' Lulju 2023