Ir-rendiment taċ-ċippa fl-industrija tal-manifattura taċ-ċippa huwa relatat mill-qrib mad-daqs u n-numru ta' partiċelli tal-arja depożitati fuq iċ-ċippa. Organizzazzjoni tajba tal-fluss tal-arja tista' tneħħi l-partiċelli ġġenerati minn sorsi tat-trab 'il bogħod mill-kamra nadifa u tiżgura l-indafa tal-kamra nadifa. Jiġifieri, l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja fil-kamra nadifa għandha rwol vitali fir-rendiment tal-produzzjoni taċ-ċippa. L-għanijiet li għandhom jintlaħqu fid-disinn tal-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja fil-kamra nadifa huma: li jitnaqqsu jew jiġu eliminati l-kurrenti vortiċi fil-kamp tal-fluss biex tiġi evitata ż-żamma ta' partiċelli ta' ħsara; li jinżamm gradjent ta' pressjoni pożittiva xieraq biex tiġi evitata l-kontaminazzjoni inkroċjata.
Skont il-prinċipju tal-kamra nadifa, il-forzi li jaġixxu fuq il-partiċelli jinkludu l-forza tal-massa, il-forza molekulari, l-attrazzjoni bejn il-partiċelli, il-forza tal-fluss tal-arja, eċċ.
Forza tal-fluss tal-arja: tirreferi għall-forza tal-fluss tal-arja kkawżata mill-fluss tal-arja tal-provvista u tar-ritorn, il-fluss tal-arja tal-konvezzjoni termali, l-aġitazzjoni artifiċjali, u flussi oħra tal-arja b'ċerta rata ta' fluss biex iġorru partiċelli. Għall-kontroll tat-teknoloġija ambjentali tal-kamra nadifa, il-forza tal-fluss tal-arja hija l-aktar fattur importanti.
Esperimenti wrew li fil-moviment tal-fluss tal-arja, il-partiċelli jsegwu l-fluss tal-arja kważi eżattament bl-istess veloċità. Il-kundizzjoni tal-partiċelli fl-arja hija determinata mid-distribuzzjoni tal-fluss tal-arja. L-effetti ewlenin tal-fluss tal-arja fuq il-partiċelli ta' ġewwa jinkludu: il-fluss tal-arja tal-provvista tal-arja (inkluż il-fluss tal-arja primarju u l-fluss tal-arja sekondarju), il-fluss tal-arja u l-fluss tal-arja tal-konvezzjoni termali kkawżat minn nies mexjin, u l-impatt tal-fluss tal-arja fuq il-partiċelli kkawżat minn operazzjonijiet tal-proċess u tagħmir industrijali. Metodi differenti ta' provvista tal-arja, interfaċċji tal-veloċità, operaturi u tagħmir industrijali, fenomeni indotti, eċċ. f'kmamar nodfa huma kollha fatturi li jaffettwaw il-livell ta' ndafa.
1. Influwenza tal-metodu tal-provvista tal-arja
(1) Veloċità tal-provvista tal-arja
Sabiex jiġi żgurat fluss uniformi tal-arja, il-veloċità tal-provvista tal-arja fil-kamra nadifa tal-fluss unidirezzjonali trid tkun uniformi; iż-żona mejta fuq il-wiċċ tal-provvista tal-arja trid tkun żgħira; u t-tnaqqis fil-pressjoni fil-filtru hepa jrid ikun ukoll uniformi.
Il-veloċità tal-provvista tal-arja hija uniformi: jiġifieri, l-irregolarità tal-fluss tal-arja hija kkontrollata fi ħdan ±20%.
Hemm inqas spazju mejjet fuq il-wiċċ tal-provvista tal-arja: mhux biss għandha titnaqqas iż-żona tal-pjan tal-qafas hepa, iżda aktar importanti minn hekk, għandu jintuża FFU modulari biex jissimplifika l-qafas żejjed.
Sabiex jiġi żgurat li l-fluss tal-arja jkun vertikali u unidirezzjonali, l-għażla tat-tnaqqis fil-pressjoni tal-filtru hija wkoll importanti ħafna, u huwa meħtieġ li t-telf tal-pressjoni fil-filtru ma jkunx jista' jiġi preġudikat.
(2) Paragun bejn is-sistema FFU u s-sistema tal-fann tal-fluss assjali
L-FFU hija unità tal-provvista tal-arja b'fann u filtru hepa. L-arja tinġibed 'il ġewwa mill-fann ċentrifugali tal-FFU u tikkonverti l-pressjoni dinamika fi pressjoni statika fil-kanal tal-arja. Din tintefaħ b'mod uniformi permezz tal-filtru hepa. Il-pressjoni tal-provvista tal-arja fuq is-saqaf hija pressjoni negattiva. B'dan il-mod l-ebda trab ma joħroġ fil-kamra nadifa meta jinbidel il-filtru. Esperimenti wrew li s-sistema FFU hija superjuri għas-sistema tal-fann tal-fluss assjali f'termini ta' uniformità tal-ħruġ tal-arja, paralleliżmu tal-fluss tal-arja u indiċi tal-effiċjenza tal-ventilazzjoni. Dan għaliex il-paralleliżmu tal-fluss tal-arja tas-sistema FFU huwa aħjar. L-użu tas-sistema FFU jista' jtejjeb l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja fil-kamra nadifa.
(3) Influwenza tal-istruttura tal-FFU stess
L-FFU hija magħmula prinċipalment minn fannijiet, filtri, gwidi tal-fluss tal-arja u komponenti oħra. Il-filtru hepa huwa l-aktar garanzija importanti biex kamra nadifa tikseb l-indafa meħtieġa mid-disinn. Il-materjal tal-filtru jaffettwa wkoll l-uniformità tal-kamp tal-fluss. Meta materjal tal-filtru mhux maħdum jew pjanċa tal-fluss jiżdied mal-ħruġ tal-filtru, il-kamp tal-fluss tal-ħruġ jista' faċilment isir uniformi.
2. L-impatt tal-interfaċċja tal-veloċità b'indafa differenti
Fl-istess kamra nadifa, bejn iż-żona tax-xogħol u ż-żona mhux tax-xogħol b'fluss unidirezzjonali vertikali, minħabba d-differenza fil-veloċità tal-arja fil-kaxxa hepa, se jseħħ effett vortiċi mħallat fl-interfaċċja, u din l-interfaċċja se ssir żona ta' fluss tal-arja turbulenti. L-intensità tat-turbolenza tal-arja hija partikolarment qawwija, u l-partiċelli jistgħu jiġu trażmessi lejn il-wiċċ tal-magna tat-tagħmir u jikkontaminaw it-tagħmir u l-wejfers.
3. Impatt fuq il-persunal u t-tagħmir
Meta l-kamra nadifa tkun vojta, il-karatteristiċi tal-fluss tal-arja fil-kamra ġeneralment jissodisfaw ir-rekwiżiti tad-disinn. Ladarba t-tagħmir jidħol fil-kamra nadifa, in-nies jiċċaqalqu, u l-prodotti jiġu ttrasportati, inevitabbilment ikun hemm ostakli għall-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja, bħal ponot li jaqtgħu li joħorġu mill-magna tat-tagħmir. Fil-kantunieri jew fit-truf, il-gass jiddevja biex jifforma żona ta' fluss turbolenti, u l-fluwidu fiż-żona ma jinġarrx faċilment mill-gass li jkun dieħel, u b'hekk jikkawża tniġġis.
Fl-istess ħin, il-wiċċ tat-tagħmir mekkaniku jisħon minħabba t-tħaddim kontinwu, u l-gradjent tat-temperatura jikkawża żona ta' reflow ħdejn il-magna, li żżid l-akkumulazzjoni ta' partiċelli fiż-żona ta' reflow. Fl-istess ħin, it-temperatura għolja faċilment tikkawża li l-partiċelli jaħarbu. L-effett doppju jintensifika s-saff vertikali ġenerali. Id-diffikultà tal-kontroll tal-indafa tal-fluss. It-trab mill-operaturi fil-kamra nadifa jista' faċilment jaderixxi mal-wejfers f'dawn iż-żoni ta' reflow.
4. Influwenza tal-art tal-arja tar-ritorn
Meta r-reżistenza tal-arja tar-ritorn li tgħaddi mill-art tkun differenti, isseħħ differenza fil-pressjoni, u b'hekk l-arja tiċċirkola fid-direzzjoni ta' reżistenza żgħira, u ma tinkisibx fluss uniformi tal-arja. Il-metodu ta' disinn popolari bħalissa huwa li jintuża art elevata. Meta l-proporzjon tal-ftuħ tal-art elevata jkun ta' 10%, il-veloċità tal-fluss tal-arja tista' titqassam b'mod uniformi fl-għoli tax-xogħol ta' ġewwa. Barra minn hekk, għandha tingħata attenzjoni stretta għax-xogħol tat-tindif biex jitnaqqas is-sors tat-tniġġis fuq l-art.
5. Fenomenu ta' induzzjoni
L-hekk imsejjaħ fenomenu ta' induzzjoni jirreferi għall-fenomenu tal-ġenerazzjoni ta' fluss tal-arja fid-direzzjoni opposta għall-fluss uniformi, li jinduċi trab iġġenerat fil-kamra jew trab f'żoni kkontaminati biswit in-naħa kontra r-riħ, u b'hekk jikkawża li t-trab jikkontamina l-wejfer. Fenomeni possibbli indotti jinkludu dawn li ġejjin:
(1) Pjanċa għamja
F'kamra nadifa b'fluss vertikali f'direzzjoni waħda, minħabba l-ġonot fuq il-ħajt, ġeneralment ikun hemm pannelli għomja kbar li jipproduċu fluss turbulenti u backflow lokali.
(2) Lampi
L-attrezzaturi tad-dawl f'kamra nadifa se jkollhom impatt akbar. Peress li s-sħana tal-lampa fluworexxenti tikkawża li l-fluss tal-arja jogħla, il-lampa fluworexxenti ma ssirx żona turbulenti. Ġeneralment, il-lampi f'kamra nadifa huma ddisinjati f'forma ta' demgħa biex inaqqsu l-impatt tal-lampi fuq l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja.
(3) Lakuni bejn il-ħitan
Meta jkun hemm lakuni bejn ħitan diviżorji jew soqfa b'rekwiżiti ta' ndafa differenti, it-trab minn żoni b'rekwiżiti baxxi ta' ndafa jista' jiġi trasferit għal żoni biswit b'rekwiżiti għoljin ta' ndafa.
(4) Id-distanza bejn it-tagħmir mekkaniku u l-art jew il-ħajt
Jekk id-distakk bejn it-tagħmir mekkaniku u l-art jew il-ħajt ikun żgħir, se jseħħ turbolenza ta' rebound. Għalhekk, ħalli distakk bejn it-tagħmir u l-ħajt u erfa' l-pjattaforma tal-magna biex tevita kuntatt dirett mal-art.
Ħin tal-posta: 02 ta' Novembru 2023