Ir-rendiment taċ-ċippa fl-industrija tal-manifattura taċ-ċippa huwa relatat mill-qrib mad-daqs u n-numru ta 'partiċelli tal-arja depożitati fuq iċ-ċippa. Organizzazzjoni tajba tal-fluss ta 'l-arja tista' tieħu partiċelli ġġenerati minn sorsi ta 'trab 'il bogħod mill-kamra nadifa u tiżgura l-indafa tal-kamra nadifa. Jiġifieri, l-organizzazzjoni tal-fluss ta 'l-arja fil-cleanroom għandha rwol vitali fir-rendiment tal-produzzjoni taċ-ċippa. L-għanijiet li għandhom jintlaħqu fid-disinn ta 'organizzazzjoni tal-fluss ta' l-arja tal-kamra nadifa huma: biex jitnaqqsu jew jiġu eliminati l-kurrenti eddy fil-qasam tal-fluss biex tiġi evitata ż-żamma ta 'partiċelli ta' ħsara; biex tinżamm gradjent ta' pressjoni pożittiva xierqa biex tiġi evitata l-kontaminazzjoni inkroċjata.
Skont il-prinċipju tal-kamra nadifa, il-forzi li jaġixxu fuq il-partiċelli jinkludu forza tal-massa, forza molekulari, attrazzjoni bejn partiċelli, forza tal-fluss tal-arja, eċċ.
Forza tal-fluss tal-arja: tirreferi għall-forza tal-fluss tal-arja kkawżata mill-fluss tal-arja tal-provvista u tar-ritorn, fluss tal-arja tal-konvezzjoni termali, aġitazzjoni artifiċjali, u flussi tal-arja oħra b'ċerta rata tal-fluss biex iġorru partiċelli. Għall-kontroll tat-teknoloġija ambjentali tal-kamra nadifa, il-forza tal-fluss tal-arja hija l-aktar fattur importanti.
L-esperimenti wrew li fil-moviment tal-fluss tal-arja, il-partiċelli jsegwu l-fluss tal-arja bi kważi eżattament l-istess veloċità. Il-kundizzjoni tal-partiċelli fl-arja hija determinata mid-distribuzzjoni tal-fluss tal-arja. L-effetti ewlenin tal-fluss tal-arja fuq partiċelli ta 'ġewwa jinkludu: fluss tal-arja tal-provvista tal-arja (inkluż fluss tal-arja primarju u fluss tal-arja sekondarju), fluss tal-arja u fluss tal-arja ta' konvezzjoni termali kkawżati minn nies li jimxu, u l-impatt tal-fluss tal-arja fuq partiċelli kkawżati minn operazzjonijiet ta 'proċess u tagħmir industrijali. Metodi differenti ta 'provvista ta' arja, interfaces tal-veloċità, operaturi u tagħmir industrijali, fenomeni indotti, eċċ fil-kmamar nodfa huma kollha fatturi li jaffettwaw il-livell ta 'indafa.
1. Influwenza tal-metodu tal-provvista tal-arja
(1) Veloċità tal-provvista tal-arja
Sabiex jiġi żgurat fluss ta 'arja uniformi, il-veloċità tal-provvista ta' l-arja fil-kamra nadifa tal-fluss unidirezzjonali għandha tkun uniformi; iż-żona mejta fuq il-wiċċ tal-provvista tal-arja għandha tkun żgħira; u l-waqgħa tal-pressjoni fil-filtru hepa għandha wkoll tkun uniformi.
Il-veloċità tal-provvista tal-arja hija uniformi: jiġifieri, l-irregolarità tal-fluss tal-arja hija kkontrollata fi ħdan ± 20%.
Hemm inqas spazju mejjet fuq il-wiċċ tal-provvista tal-arja: mhux biss għandha titnaqqas iż-żona tal-pjan tal-qafas hepa, iżda aktar importanti, FFU modulari għandu jintuża biex jissimplifika l-qafas żejda.
Sabiex jiġi żgurat li l-fluss ta 'l-arja jkun vertikali u unidirezzjonali, l-għażla tal-waqgħa tal-pressjoni tal-filtru hija wkoll importanti ħafna, u huwa meħtieġ li t-telf tal-pressjoni fi ħdan il-filtru ma jistax jiġi preġudikat.
(2) Tqabbil bejn is-sistema FFU u s-sistema tal-fann tal-fluss assjali
FFU hija unità ta 'provvista ta' arja b'fann u filtru hepa. L-arja tinġibed mill-fann ċentrifugali tal-FFU u tikkonverti l-pressjoni dinamika fi pressjoni statika fil-kanal tal-arja. Huwa minfuħa b'mod uniformi mill-filtru hepa. Il-pressjoni tal-provvista tal-arja fuq il-limitu hija pressjoni negattiva. B'dan il-mod l-ebda trab ma joħroġ fil-kamra nadifa meta tissostitwixxi l-filtru. L-esperimenti wrew li s-sistema FFU hija superjuri għas-sistema tal-fann tal-fluss axjali f'termini ta 'uniformità tal-ħruġ tal-arja, paralleliżmu tal-fluss tal-arja u indiċi tal-effiċjenza tal-ventilazzjoni. Dan għaliex il-paralleliżmu tal-fluss tal-arja tas-sistema FFU huwa aħjar. L-użu tas-sistema FFU jista 'jtejjeb l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja fil-kamra nadifa.
(3) Influwenza tal-istruttura tal-FFU stess
FFU huwa magħmul prinċipalment minn fannijiet, filtri, gwidi tal-fluss tal-arja u komponenti oħra. Il-filtru hepa huwa l-aktar garanzija importanti għal kamra nadifa biex tinkiseb l-indafa meħtieġa meħtieġa mid-disinn. Il-materjal tal-filtru se jaffettwa wkoll l-uniformità tal-kamp tal-fluss. Meta materjal tal-filtru mhux maħdum jew pjanċa tal-fluss jiġi miżjud mal-iżbokk tal-filtru, il-qasam tal-fluss tal-ħruġ jista 'jsir uniformi faċilment.
2. Impatt tal-interface tal-veloċità b'indafa differenti
Fl-istess kamra nadifa, bejn iż-żona tax-xogħol u ż-żona mhux tax-xogħol bi fluss unidirezzjonali vertikali, minħabba d-differenza fil-veloċità tal-arja fil-kaxxa hepa, effett vortiċi mħallat se jseħħ fl-interface, u din l-interface se ssir turbulenti żona tal-fluss tal-arja. L-intensità tat-turbolenza tal-arja hija partikolarment qawwija, u l-partiċelli jistgħu jiġu trażmessi għall-wiċċ tal-magna tat-tagħmir u jikkontaminaw it-tagħmir u l-wejfers.
3. Impatt fuq il-persunal u t-tagħmir
Meta l-kamra nadifa tkun vojta, il-karatteristiċi tal-fluss tal-arja fil-kamra ġeneralment jissodisfaw ir-rekwiżiti tad-disinn. Ladarba t-tagħmir jidħol fil-kamra nadifa, in-nies jiċċaqilqu, u l-prodotti jiġu ttrasportati, inevitabbilment hemm ostakli għall-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja, bħal punti li jaqtgħu li joħorġu mill-magna tat-tagħmir. Fil-kantunieri jew it-truf, il-gass jiddevja biex jifforma żona ta 'fluss turbolenti, u l-fluwidu fiż-żona mhux se jinġarr faċilment mill-gass li jkun dieħel, u b'hekk jikkawża tniġġis.
Fl-istess ħin, il-wiċċ tat-tagħmir mekkaniku se jissaħħan minħabba tħaddim kontinwu, u l-gradjent tat-temperatura jikkawża żona ta 'reflow ħdejn il-magna, li żżid l-akkumulazzjoni ta' partiċelli fiż-żona ta 'reflow. Fl-istess ħin, it-temperatura għolja faċilment tikkawża li l-partiċelli jaħarbu. L-effett doppju jintensifika s-saff vertikali ġenerali. Id-diffikultà li tikkontrolla l-indafa tan-nixxiegħa. It-trab minn operaturi fil-kamra nadifa jista 'faċilment jaderixxi mal-wejfers f'dawn iż-żoni ta' reflow.
4. Influwenza tal-art tar-ritorn tal-arja
Meta r-reżistenza ta 'l-arja tar-ritorn li tgħaddi mill-art tkun differenti, id-differenza tal-pressjoni se sseħħ, u tikkawża li l-arja tiċċirkola fid-direzzjoni ta' reżistenza żgħira, u fluss ta 'arja uniformi mhux se jinkiseb. Il-metodu tad-disinn popolari attwali huwa li tuża art elevata. Meta l-proporzjon tal-ftuħ ta 'l-art elevata tkun ta' 10%, il-veloċità tal-fluss ta 'l-arja tista' titqassam b'mod uniformi fl-għoli tax-xogħol ta 'ġewwa. Barra minn hekk, għandha tingħata attenzjoni stretta għax-xogħol tat-tindif biex jitnaqqas is-sors tat-tniġġis fuq l-art.
5. Fenomenu ta 'induzzjoni
L-hekk imsejjaħ fenomenu ta 'induzzjoni jirreferi għall-fenomenu tal-ġenerazzjoni tal-fluss ta' l-arja fid-direzzjoni opposta għall-fluss uniformi, li jinduċi trab iġġenerat fil-kamra jew trab f'żoni kontaminati ħdejn in-naħa tar-riħ, u b'hekk jikkawża li t-trab jikkontamina l-wejfer. Fenomeni indotti possibbli jinkludu dawn li ġejjin:
(1) Pjanċa għomja
F'kamra nadifa bi fluss vertikali f'direzzjoni waħda, minħabba l-ġonot fuq il-ħajt, ġeneralment hemm pannelli għomja kbar li jipproduċu fluss turbulenti u backflow lokali.
(2) Lampi
L-attrezzaturi tad-dawl fil-kamra nadifa se jkollhom impatt akbar. Peress li s-sħana tal-lampa fluworexxenti tikkawża li l-fluss tal-arja jiżdied, il-lampa fluworexxenti mhux se ssir żona turbolenti. Ġeneralment, il-lampi fil-kamra nadifa huma ddisinjati f'forma ta 'dmugħ biex inaqqsu l-impatt tal-lampi fuq l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja.
(3) Spazji bejn il-ħitan
Meta jkun hemm vojt bejn ħitan diviżorji jew soqfa b'rekwiżiti ta 'ndafa differenti, trab minn żoni b'rekwiżiti ta' indafa baxxi jista 'jiġi trasferit għal żoni ta' ħdejn xulxin b'rekwiżiti ta 'ndafa għolja.
(4) Id-distanza bejn it-tagħmir mekkaniku u l-art jew il-ħajt
Jekk id-distakk bejn it-tagħmir mekkaniku u l-art jew il-ħajt huwa żgħir, se jseħħ turbolenza ta 'rebound. Għalhekk, ħalli vojt bejn it-tagħmir u l-ħajt u għolli l-pjattaforma tal-magna biex tevita kuntatt dirett mal-art.
Ħin tal-post: Nov-02-2023