Ir-rendiment taċ-ċippa fl-industrija tal-manifattura taċ-ċippa huwa relatat mill-qrib mad-daqs u n-numru ta 'partiċelli ta' l-arja depożitati fuq ċippa. Organizzazzjoni tajba tal-fluss tal-arja tista 'tieħu partiċelli ġġenerati minn sorsi ta' trab 'il bogħod minn kamra nadifa u tiżgura l-indafa tal-kamra nadifa. Jiġifieri, l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja fil-kamra nadifa għandha rwol vitali fir-rendiment tal-produzzjoni taċ-ċippa. L-għanijiet li għandhom jinkisbu fid-disinn ta 'organizzazzjoni tal-fluss ta' arja tal-kamra nadifa huma: li tnaqqas jew telimina l-kurrenti eddy fil-kamp tal-fluss biex tevita ż-żamma ta 'partiċelli ta' ħsara; Biex iżżomm gradjent ta 'pressjoni pożittiv xieraq biex tevita kontaminazzjoni inkroċjata.
Skond il-prinċipju tal-kamra nadifa, il-forzi li jaġixxu fuq il-partiċelli jinkludu forza tal-massa, forza molekulari, attrazzjoni bejn partiċelli, forza tal-fluss tal-arja, eċċ.
Forza tal-fluss tal-arja: tirreferi għall-forza tal-fluss tal-arja kkawżat mill-provvista u l-fluss tal-arja tar-ritorn, il-fluss tal-arja tal-konvezzjoni termali, l-aġitazzjoni artifiċjali, u flussi ta 'arja oħra b'ċerta rata ta' fluss biex iġorru partiċelli. Għall-kontroll tat-teknoloġija ambjentali tal-kamra nadifa, il-forza tal-fluss tal-arja hija l-iktar fattur importanti.
Esperimenti wrew li fil-moviment tal-fluss tal-arja, il-partiċelli jsegwu l-fluss tal-arja kważi eżattament fl-istess veloċità. Il-kundizzjoni ta 'partiċelli fl-arja hija ddeterminata mid-distribuzzjoni tal-fluss ta' l-arja. L-effetti ewlenin tal-fluss tal-arja fuq il-partiċelli ta 'ġewwa jinkludu: fluss ta' arja tal-provvista ta 'l-arja (inkluż fluss ta' arja primarju u fluss ta 'arja sekondarju), fluss ta' arja u konvezzjoni termali kkawżat minn nies mixi, u l-impatt tal-fluss ta 'l-arja fuq partiċelli kkawżati minn operazzjonijiet ta' proċess u tagħmir industrijali. Metodi differenti ta 'provvista ta' l-arja, interfaces ta 'veloċità, operaturi u tagħmir industrijali, fenomeni indotti, eċċ fi kmamar nadif huma kollha fatturi li jaffettwaw il-livell ta' indafa.
1. Influwenza tal-metodu tal-provvista tal-arja
(1) Veloċità tal-provvista tal-arja
Sabiex jiġi żgurat fluss ta 'arja uniformi, il-veloċità tal-provvista ta' l-arja fil-fluss unidirezzjonali kamra nadifa għandha tkun uniformi; Iż-żona mejta fuq il-wiċċ tal-provvista tal-arja għandha tkun żgħira; u l-waqgħa tal-pressjoni fil-filtru HEPA għandha wkoll tkun uniformi.
Il-veloċità tal-provvista tal-arja hija uniformi: jiġifieri, l-inugwaljanza tal-fluss tal-arja hija kkontrollata fi ħdan ± 20%.
Hemm inqas spazju mejjet fuq il-wiċċ tal-provvista ta 'l-arja: mhux biss għandha titnaqqas iż-żona tal-pjan tal-qafas HEPA, iżda aktar importanti minn hekk, FFU modulari għandha tintuża biex tissimplifika l-qafas żejjed.
Sabiex jiġi żgurat li l-fluss ta 'l-arja huwa vertikali u unidirezzjonali, l-għażla tal-waqgħa tal-pressjoni tal-filtru hija wkoll importanti ħafna, u huwa meħtieġ li t-telf tal-pressjoni fil-filtru ma jistax jiġi preġudikat.
(2) Tqabbil bejn is-sistema FFU u s-sistema tal-fann tal-fluss assjali
FFU hija unità tal-provvista tal-arja b'filter tal-fann u HEPA. L-arja tinġibed mill-fann ċentrifugali tal-FFU u tikkonverti l-pressjoni dinamika fi pressjoni statika fil-kanal tal-arja. Huwa minfuħ indaqs mill-filtru HEPA. Il-pressjoni tal-provvista tal-arja fuq il-limitu hija pressjoni negattiva. Dan il-mod l-ebda trab ma jnixxi f'kamra nadifa meta tissostitwixxi l-filtru. Esperimenti wrew li s-sistema FFU hija superjuri għas-sistema tal-fann tal-fluss assjali f'termini ta 'uniformità tal-iżbokk tal-arja, paralleliżmu tal-fluss tal-arja u indiċi tal-effiċjenza tal-ventilazzjoni. Dan minħabba li l-paralleliżmu tal-fluss tal-arja tas-sistema FFU huwa aħjar. L-użu tas-sistema FFU jista 'jtejjeb l-organizzazzjoni tal-fluss ta' l-arja f'kamra nadifa.
(3) Influwenza tal-istruttura tal-FFU stess
L-FFU huwa magħmul prinċipalment minn fannijiet, filtri, gwidi tal-fluss tal-arja u komponenti oħra. Il-filtru HEPA huwa l-iktar garanzija importanti għal kamra nadifa biex tinkiseb l-indafa meħtieġa mid-disinn. Il-materjal tal-filtru jaffettwa wkoll l-uniformità tal-kamp tal-fluss. Meta materjal tal-filtru mhux maħdum jew pjanċa tal-fluss jiġi miżjud mal-iżbokk tal-filtru, il-kamp tal-fluss tal-ħruġ jista 'jsir faċilment uniformi.
2. L-impatt tal-interface tal-veloċità ma 'ndafa differenti
Fl-istess kamra nadifa, bejn iż-żona tax-xogħol u ż-żona li ma taħdimx bi fluss unidirezzjonali vertikali, minħabba d-differenza fil-veloċità tal-arja fil-kaxxa HEPA, effett Vortex imħallat se jseħħ fl-interface, u din l-interface se ssir taqlib Żona tal-fluss tal-arja. L-intensità tat-turbulenza tal-arja hija partikolarment qawwija, u l-partiċelli jistgħu jiġu trasmessi mal-wiċċ tal-magna tat-tagħmir u jikkontaminaw it-tagħmir u l-wejfers.
3. L-impatt fuq il-persunal u t-tagħmir
Meta kamra nadifa tkun vojta, il-karatteristiċi tal-fluss tal-arja fil-kamra ġeneralment jissodisfaw ir-rekwiżiti tad-disinn. Ladarba t-tagħmir jidħol fil-kamra nadifa, in-nies jiċċaqalqu, u l-prodotti jiġu trasportati, inevitabbilment hemm ostakli lejn l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja, bħal punti li jaqtgħu li joħorġu mill-magna tat-tagħmir. Fil-kantunieri jew it-truf, il-gass se jiddevja biex jifforma żona ta 'fluss mqallba, u l-fluwidu fiż-żona ma jinġarrx faċilment mill-gass li jkun dieħel, u b'hekk jikkawża tniġġis.
Fl-istess ħin, il-wiċċ tat-tagħmir mekkaniku se jissaħħan minħabba tħaddim kontinwu, u l-gradjent tat-temperatura se jikkawża żona ta 'riflessjoni ħdejn il-magna, li żżid l-akkumulazzjoni ta' partiċelli fiż-żona ta 'riflow. Fl-istess ħin, it-temperatura għolja faċilment tikkawża li l-partiċelli jaħarbu. L-effett doppju jintensifika s-saff vertikali ġenerali. Id-diffikultà biex tikkontrolla l-indafa tan-nixxiegħa. It-trab mill-operaturi fil-kamra nadifa jista 'faċilment jaderixxi mal-wejfers f'dawn iż-żoni ta' riflessjoni.
4. Influwenza tal-art tar-ritorn
Meta r-reżistenza tal-arja tar-ritorn li tgħaddi mill-art hija differenti, id-differenza fil-pressjoni se sseħħ, li tikkawża li l-arja tiċċirkola fid-direzzjoni tar-reżistenza żgħira, u l-fluss tal-arja uniformi ma jinkisibx. Il-metodu tad-disinn popolari attwali huwa li tuża art elevata. Meta l-proporzjon tal-ftuħ ta 'l-art elevata huwa ta' 10%, il-veloċità tal-fluss ta 'l-arja tista' titqassam indaqs fl-għoli tax-xogħol ta 'ġewwa. Barra minn hekk, għandha tingħata attenzjoni stretta għax-xogħol tat-tindif biex jitnaqqas is-sors ta 'tniġġis fl-art.
5. Fenomenu ta 'induzzjoni
L-hekk imsejjaħ fenomenu ta 'induzzjoni jirreferi għall-fenomenu tal-ġenerazzjoni ta' fluss ta 'l-arja fid-direzzjoni opposta għall-fluss uniformi, li jikkaġuna trab iġġenerat f'kamra jew trab f'żoni kontaminati li jmissu mal-ġenb' il fuq, u b'hekk jikkawżaw it-trab biex jikkontamina l-wejfer. Fenomeni indotti possibbli jinkludu dawn li ġejjin:
(1) pjanċa għomja
F'kamra nadifa bi fluss vertikali f'direzzjoni waħda, minħabba l-ġonot fuq il-ħajt, ġeneralment hemm pannelli għomja kbar li jipproduċu fluss mqallba u fluss lura lokali.
(2) Lampi
L-attrezzaturi tad-dawl fil-kamra nadifa se jkollhom impatt akbar. Peress li s-sħana tal-lampa fluworexxenti tikkawża li l-fluss tal-arja jogħla, il-lampa fluworexxenti ma ssirx żona mqallba. Ġeneralment, il-fanali fil-kamra nadifa huma ddisinjati f'forma ta 'dmugħ biex inaqqsu l-impatt tal-fanali fuq l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja.
(3) lakuni bejn il-ħitan
Meta jkun hemm lakuni bejn ħitan tal-qasma jew soqfa b'rekwiżiti ta 'indafa differenti, trab minn żoni b'rekwiżiti ta' indafa baxxa jista 'jiġi trasferit f'żoni li jmissu magħhom b'rekwiżiti ta' indafa għolja.
(4) Id-distanza bejn it-tagħmir mekkaniku u l-art jew il-ħajt
Jekk id-distakk bejn it-tagħmir mekkaniku u l-art jew il-ħajt huwa żgħir, se sseħħ turbulenza mill-ġdid. Għalhekk, ħalli vojt bejn it-tagħmir u l-ħajt u għolla l-pjattaforma tal-magna biex tevita kuntatt dirett mal-art.
Ħin ta 'wara: Nov-02-2023