Ir-rata ta 'rendiment taċ-ċippa fl-industrija tal-manifattura IC hija relatata mill-qrib mad-daqs u n-numru ta' partiċelli ta 'l-arja depożitati fuq iċ-ċippa. Organizzazzjoni tajba tal-fluss tal-arja tista 'tieħu l-partiċelli ġġenerati mis-sors tat-trab' il bogħod mill-kamra nadifa biex tiżgura l-indafa tal-kamra nadifa, jiġifieri, l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja fil-kamra nadifa għandha rwol vitali fir-rata tar-rendiment tal-produzzjoni tal-IC. Id-disinn tal-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja fil-kamra nadif jeħtieġ li jinkisbu l-għanijiet li ġejjin: tnaqqas jew telimina l-kurrent eddy fil-kamp tal-fluss biex tevita ż-żamma ta 'partiċelli ta' ħsara; Żomm gradjent ta 'pressjoni pożittiv xieraq biex tevita kontaminazzjoni inkroċjata.
Forza tal-fluss tal-arja
Skond il-prinċipju tal-kamra nadifa, il-forzi li jaġixxu fuq il-partiċelli jinkludu forza tal-massa, forza molekulari, attrazzjoni bejn partiċelli, forza tal-fluss tal-arja, eċċ.
Forza tal-fluss ta 'l-arja: tirreferi għall-forza tal-fluss ta' l-arja kkawżat mill-kunsinna, ritorn ta 'fluss ta' l-arja, fluss ta 'arja konvezzjoni termali, taħwid artifiċjali, u flussi ta' arja oħra b'ċerta rata ta 'fluss biex iġorru l-partiċelli. Għall-kontroll tekniku tal-ambjent tal-kamra nadifa, il-forza tal-fluss tal-arja hija l-iktar fattur importanti.
Esperimenti wrew li fil-moviment tal-fluss tal-arja, il-partiċelli jsegwu l-moviment tal-fluss tal-arja kważi fl-istess veloċità. L-istat tal-partiċelli fl-arja huwa determinat mid-distribuzzjoni tal-fluss tal-arja. Il-flussi ta 'l-arja li jaffettwaw il-partiċelli ta' ġewwa jinkludu prinċipalment: fluss ta 'arja tal-provvista ta' l-arja (inkluż fluss ta 'arja primarju u fluss ta' arja sekondarju), fluss ta 'arja u konvezzjoni termali kkawżat minn nies mixi, u l-fluss ta' l-arja kkawżat minn tħaddim ta 'proċess u tagħmir industrijali. Metodi differenti ta 'provvista ta' l-arja, interfaces ta 'veloċità, operaturi u tagħmir industrijali, u fenomeni indotti fi kmamar nodfa huma kollha fatturi li jaffettwaw il-livell ta' indafa.
Fatturi li jaffettwaw l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja
1. L-influwenza tal-metodu tal-provvista tal-arja
(1). Veloċità tal-provvista tal-arja
Biex tkun żgurata fluss ta 'arja uniformi, il-veloċità tal-provvista ta' l-arja għandha tkun uniformi f'kamra nadifa unidirezzjonali; Iż-żona mejta tal-wiċċ tal-provvista tal-arja għandha tkun żgħira; u l-waqgħa tal-pressjoni fl-ULPA għandha wkoll tkun uniformi.
Veloċità uniformi tal-provvista ta 'l-arja: Jiġifieri, l-inugwaljanza tal-fluss ta' l-arja hija kkontrollata fi ħdan ± 20%.
Żona inqas mejta fuq il-wiċċ tal-provvista ta 'l-arja: Mhux biss iż-żona tal-pjan tal-qafas ULPA għandha titnaqqas, iżda aktar importanti minn hekk, FFU modulari għandha tkun adottata biex tissimplifika l-qafas żejjed.
Sabiex jiġi żgurat fluss ta 'arja unidirezzjonali vertikali, l-għażla tal-waqgħa tal-pressjoni tal-filtru hija wkoll importanti ħafna, li teħtieġ li t-telf tal-pressjoni fil-filtru ma jistax jiddevja.
(2). Tqabbil bejn is-sistema FFU u s-sistema tal-fann tal-fluss assjali
FFU hija unità tal-provvista tal-arja b'fann u filtru (ULPA). Wara li l-arja tinġibed mill-fann ċentrifugali tal-FFU, il-pressjoni dinamika tinbidel fi pressjoni statika fil-kanal tal-arja u minfuħa b'mod uniformi mill-ULPA. Il-pressjoni tal-provvista tal-arja fuq il-limitu hija pressjoni negattiva, sabiex l-ebda trab ma jnixxi fil-kamra nadifa meta l-filtru jinbidel. Esperimenti wrew li s-sistema FFU hija superjuri għas-sistema tal-fann tal-fluss assjali f'termini ta 'uniformità tal-iżbokk tal-arja, paralleliżmu tal-fluss tal-arja u indiċi tal-effiċjenza tal-ventilazzjoni. Dan għaliex il-paralleliżmu tal-fluss tal-arja tas-sistema FFU huwa aħjar. L-użu tas-sistema FFU jista 'jagħmel il-fluss tal-arja fil-kamra nadifa organizzata aħjar.
(3). L-influwenza tal-istruttura tal-FFU stess
L-FFU huwa magħmul prinċipalment minn fannijiet, filtri, apparati ta 'gwida tal-fluss ta' l-arja u komponenti oħra. L-ULPA tal-filtru ultra-għoli tal-effiċjenza hija l-iktar garanzija importanti għal jekk il-kamra nadifa tistax tikseb l-indafa meħtieġa tad-disinn. Il-materjal tal-filtru jaffettwa wkoll l-uniformità tal-kamp tal-fluss. Meta materjal tal-filtru oħxon jew pjanċa tal-fluss laminar jiġi miżjud mal-iżbokk tal-filtru, il-kamp tal-fluss tal-ħruġ jista 'jsir faċilment uniformi.
2. L-impatt ta 'interfejs ta' veloċità differenti ta 'ndafa
Fl-istess kamra nadifa, bejn iż-żona tax-xogħol u ż-żona li ma taħdimx tal-fluss unidirezzjonali vertikali, minħabba d-differenza fil-veloċità tal-arja fl-iżbokk tal-ULPA, effett vortiċi mħallat se jiġi ġġenerat fl-interface, u din l-interface se ssir taqlib Żona tal-fluss ta 'l-arja b'intensità ta' turbulenza ta 'arja partikolarment għolja. Il-partiċelli jistgħu jiġu trasmessi mal-wiċċ tat-tagħmir u jikkontaminaw it-tagħmir u l-wejfers.
3. L-impatt tal-persunal u t-tagħmir
Meta l-kamra nadifa tkun vojta, il-karatteristiċi tal-fluss tal-arja fil-kamra ġeneralment jissodisfaw ir-rekwiżiti tad-disinn. Ladarba t-tagħmir jidħol fil-kamra nadifa, il-mossa tal-persunal u l-prodotti jiġu trasmessi, inevitabbilment ikun hemm ostakli għall-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja. Pereżempju, fil-kantunieri li joħorġu 'l barra jew it-truf tat-tagħmir, il-gass jiġi ddevjat biex jifforma żona mqallba, u l-fluwidu fiż-żona ma jinġarrx faċilment mill-gass, u b'hekk jikkawża tniġġis. Fl-istess ħin, il-wiċċ tat-tagħmir se jsaħħan minħabba tħaddim kontinwu, u l-gradjent tat-temperatura se jikkawża żona ta 'riflessjoni ħdejn il-magna, li se żżid l-akkumulazzjoni ta' partiċelli fiż-żona ta 'riflessjoni. Fl-istess ħin, it-temperatura għolja faċilment tikkawża li l-partiċelli jaħarbu. L-effett doppju jiggrava d-diffikultà li tikkontrolla l-indafa laminar vertikali ġenerali. It-trab mill-operaturi fil-kamra nadifa huwa faċli ħafna biex taderixxi mal-wejfers f'dawn iż-żoni ta 'riflessjoni.
4. Influwenza tal-art tar-ritorn
Meta r-reżistenza tar-ritorn ta 'l-arja li tgħaddi mill-art hija differenti, tkun iġġenerata differenza ta' pressjoni, sabiex l-arja toħroġ fid-direzzjoni ta 'inqas reżistenza, u l-fluss ta' l-arja uniformi ma jinkisibx. Il-metodu tad-disinn popolari attwali huwa li tuża sulari elevati. Meta r-rata tal-ftuħ ta 'sulari elevati hija ta' 10%, il-veloċità tal-fluss ta 'l-arja fl-għoli tax-xogħol tal-kamra tista' titqassam indaqs. Barra minn hekk, għandha tingħata attenzjoni stretta għax-xogħol tat-tindif biex jitnaqqas is-sors tat-tniġġis tal-art.
5. Fenomenu ta 'induzzjoni
L-hekk imsejjaħ fenomenu ta 'induzzjoni jirreferi għall-fenomenu li l-fluss ta' l-arja fid-direzzjoni opposta tal-fluss uniformi huwa ġġenerat, u t-trab iġġenerat fil-kamra jew it-trab fiż-żona kontaminata li jmiss jista 'jikkontamina ċ-ċippa. Dawn li ġejjin huma l-fenomeni ta 'induzzjoni possibbli:
(1). Platt għomja
F'kamra nadifa bi fluss unidirezzjonali vertikali, minħabba l-ġonot fuq il-ħajt, ġeneralment hemm pjanċi għomja kbar li jiġġeneraw turbulenza fil-fluss tar-ritorn lokali.
(2). Lampi
L-attrezzaturi tad-dawl fil-kamra nadifa se jkollhom impatt akbar. Peress li s-sħana tal-lampi fluworexxenti tikkawża li l-fluss tal-arja jiżdied, mhux se jkun hemm żona mqallba taħt il-fanali fluworexxenti. Ġeneralment, il-fanali fil-kamra nadifa huma ddisinjati f'forma ta 'dmugħ biex inaqqsu l-impatt tal-fanali fuq l-organizzazzjoni tal-fluss ta' l-arja.
(3.) lakuni bejn il-ħitan
Meta jkun hemm lakuni bejn diviżorji b'livelli ta 'indafa differenti jew bejn diviżorji u soqfa, trab miż-żona b'rekwiżiti ta' indafa baxxa jista 'jiġi trasferit għaż-żona li jmissu ma' ħtiġijiet ta 'indafa għolja.
(4). Distanza bejn il-magna u l-art jew il-ħajt
Jekk id-distakk bejn il-magna u l-art jew il-ħajt huwa żgħir ħafna, dan jikkawża turbulenza ta 'rebound. Għalhekk, ħalli lakuna bejn it-tagħmir u l-ħajt u tgħolli l-magna biex tevita li tħalli l-magna tmiss l-art direttament.
Ħin ta 'wara: Frar-05-2025