• banner_tal-paġna

X'INHUMA L-FATTURI LI JAFFETTWAW L-ORGANIZZAZZJONI TAL-FLUSS TAL-ARJA FIL-KAMRA NADIFA?

kamra nadifa
ambjent ta' kamra nadifa

Ir-rata tar-rendiment taċ-ċippa fl-industrija tal-manifattura tal-IC hija relatata mill-qrib mad-daqs u n-numru ta' partiċelli tal-arja depożitati fuq iċ-ċippa. Organizzazzjoni tajba tal-fluss tal-arja tista' tneħħi l-partiċelli ġġenerati mis-sors tat-trab 'il bogħod mill-kamra nadifa biex tiżgura l-indafa tal-kamra nadifa, jiġifieri, l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja fil-kamra nadifa għandha rwol vitali fir-rata tar-rendiment tal-produzzjoni tal-IC. Id-disinn tal-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja fil-kamra nadifa jeħtieġ li jikseb l-għanijiet li ġejjin: inaqqas jew jelimina l-kurrent vortiċi fil-kamp tal-fluss biex jevita ż-żamma ta' partiċelli ta' ħsara; iżomm gradjent ta' pressjoni pożittiva xieraq biex jipprevjeni kontaminazzjoni inkroċjata.

Forza tal-fluss tal-arja

Skont il-prinċipju tal-kamra nadifa, il-forzi li jaġixxu fuq il-partiċelli jinkludu l-forza tal-massa, il-forza molekulari, l-attrazzjoni bejn il-partiċelli, il-forza tal-fluss tal-arja, eċċ.

Forza tal-fluss tal-arja: tirreferi għall-forza tal-fluss tal-arja kkawżata mill-kunsinna, il-fluss tal-arja tar-ritorn, il-fluss tal-arja tal-konvezzjoni termali, it-taħwid artifiċjali, u flussi oħra tal-arja b'ċerta rata ta' fluss biex iġorru l-partiċelli. Għall-kontroll tekniku tal-ambjent tal-kamra nadifa, il-forza tal-fluss tal-arja hija l-aktar fattur importanti.

Esperimenti wrew li fil-moviment tal-fluss tal-arja, il-partiċelli jsegwu l-moviment tal-fluss tal-arja kważi bl-istess veloċità. L-istat tal-partiċelli fl-arja huwa determinat mid-distribuzzjoni tal-fluss tal-arja. Il-flussi tal-arja li jaffettwaw il-partiċelli ta' ġewwa jinkludu prinċipalment: fluss tal-arja tal-provvista tal-arja (inkluż fluss tal-arja primarju u fluss tal-arja sekondarju), fluss tal-arja u fluss tal-arja ta' konvezzjoni termali kkawżat minn nies mexjin, u l-fluss tal-arja kkawżat minn operazzjoni tal-proċess u tagħmir industrijali. Metodi differenti ta' provvista tal-arja, interfaċċji tal-veloċità, operaturi u tagħmir industrijali, u fenomeni indotti f'kmamar nodfa huma kollha fatturi li jaffettwaw il-livell ta' ndafa.

Fatturi li jaffettwaw l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja

1. L-influwenza tal-metodu tal-provvista tal-arja

(1). Veloċità tal-provvista tal-arja

Biex jiġi żgurat fluss tal-arja uniformi, il-veloċità tal-provvista tal-arja trid tkun uniformi f'kamra nadifa unidirezzjonali; iż-żona mejta tal-wiċċ tal-provvista tal-arja trid tkun żgħira; u t-tnaqqis fil-pressjoni fl-ULPA jrid ikun ukoll uniformi.

Veloċità uniformi tal-provvista tal-arja: jiġifieri, l-irregolarità tal-fluss tal-arja hija kkontrollata fi żmien ±20%.

Inqas żona mejta fuq il-wiċċ tal-provvista tal-arja: mhux biss għandha titnaqqas iż-żona tal-pjan tal-qafas ULPA, iżda aktar importanti minn hekk, għandu jiġi adottat FFU modulari biex jissimplifika l-qafas żejjed.

Biex jiġi żgurat fluss tal-arja unidirezzjonali vertikali, l-għażla tat-tnaqqis fil-pressjoni tal-filtru hija wkoll importanti ħafna, u teħtieġ li t-telf tal-pressjoni fil-filtru ma jistax jiddevja.

(2). Paragun bejn is-sistema FFU u s-sistema tal-fann tal-fluss assjali

L-FFU hija unità tal-provvista tal-arja b'fann u filtru (ULPA). Wara li l-arja tiġi miġbuda mill-fann ċentrifugali tal-FFU, il-pressjoni dinamika tiġi kkonvertita fi pressjoni statika fil-kanal tal-arja u minfuħa b'mod uniformi mill-ULPA. Il-pressjoni tal-provvista tal-arja fuq is-saqaf hija pressjoni negattiva, sabiex l-ebda trab ma joħroġ fil-kamra nadifa meta l-filtru jiġi mibdul. Esperimenti wrew li s-sistema FFU hija superjuri għas-sistema tal-fann tal-fluss assjali f'termini ta' uniformità tal-ħruġ tal-arja, paralleliżmu tal-fluss tal-arja u indiċi tal-effiċjenza tal-ventilazzjoni. Dan għaliex il-paralleliżmu tal-fluss tal-arja tas-sistema FFU huwa aħjar. L-użu tas-sistema FFU jista' jagħmel il-fluss tal-arja fil-kamra nadifa organizzat aħjar.

(3). L-influwenza tal-istruttura tal-FFU stess

L-FFU huwa magħmul prinċipalment minn fannijiet, filtri, apparati ta' gwida tal-fluss tal-arja u komponenti oħra. Il-filtru ULPA ta' effiċjenza ultra-għolja huwa l-aktar garanzija importanti dwar jekk il-kamra nadifa tistax tikseb l-indafa meħtieġa tad-disinn. Il-materjal tal-filtru jaffettwa wkoll l-uniformità tal-kamp tal-fluss. Meta materjal tal-filtru oħxon jew pjanċa tal-fluss laminari jiżdied mal-ħruġ tal-filtru, il-kamp tal-fluss tal-ħruġ jista' faċilment isir uniformi.

2. L-impatt ta' interfejsijiet ta' veloċità differenti tal-indafa

Fl-istess kamra nadifa, bejn iż-żona tax-xogħol u ż-żona mhux tax-xogħol ta' fluss unidirezzjonali vertikali, minħabba d-differenza fil-veloċità tal-arja fl-iżbokk tal-ULPA, se jiġi ġġenerat effett ta' vortiċi mħallat fl-interfaċċja, u din l-interfaċċja se ssir żona ta' fluss ta' arja turbulenti b'intensità ta' turbulenza tal-arja partikolarment għolja. Il-partiċelli jistgħu jiġu trażmessi lejn il-wiċċ tat-tagħmir u jikkontaminaw it-tagħmir u l-wejfers.

3. L-impatt tal-persunal u t-tagħmir

Meta l-kamra nadifa tkun vojta, il-karatteristiċi tal-fluss tal-arja fil-kamra ġeneralment jissodisfaw ir-rekwiżiti tad-disinn. Ladarba t-tagħmir jidħol fil-kamra nadifa, il-persunal jiċċaqlaq u l-prodotti jiġu ttrasportati, inevitabbilment ikun hemm ostakli għall-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja. Pereżempju, fil-kantunieri jew it-truf li jisporġu 'l barra tat-tagħmir, il-gass jiġi ddevjat biex jifforma żona turbolenti, u l-fluwidu fiż-żona ma jinġarrx faċilment mill-gass, u b'hekk jikkawża tniġġis. Fl-istess ħin, il-wiċċ tat-tagħmir jisħon minħabba t-tħaddim kontinwu, u l-gradjent tat-temperatura jikkawża żona ta' reflow ħdejn il-magna, li żżid l-akkumulazzjoni ta' partiċelli fiż-żona ta' reflow. Fl-istess ħin, it-temperatura għolja faċilment tikkawża li l-partiċelli jaħarbu. L-effett doppju jaggrava d-diffikultà tal-kontroll tal-indafa laminari vertikali ġenerali. It-trab mill-operaturi fil-kamra nadifa huwa faċli ħafna biex jaderixxi mal-wejfers f'dawn iż-żoni ta' reflow.

4. Influwenza tal-art tal-arja tar-ritorn

Meta r-reżistenza tal-arja tar-ritorn li tgħaddi mill-art tkun differenti, tiġi ġġenerata differenza fil-pressjoni, sabiex l-arja tiċċirkola fid-direzzjoni ta' inqas reżistenza, u ma tinkisibx fluss tal-arja uniformi. Il-metodu ta' disinn popolari bħalissa huwa li jintużaw pavimenti elevati. Meta r-rata ta' ftuħ ta' pavimenti elevati hija ta' 10%, il-veloċità tal-fluss tal-arja fl-għoli tax-xogħol tal-kamra tista' titqassam b'mod uniformi. Barra minn hekk, għandha tingħata attenzjoni stretta għax-xogħol tat-tindif biex jitnaqqas is-sors tat-tniġġis tal-art.

5. Fenomenu ta' induzzjoni

L-hekk imsejjaħ fenomenu ta' induzzjoni jirreferi għall-fenomenu fejn jiġi ġġenerat fluss tal-arja fid-direzzjoni opposta tal-fluss uniformi, u t-trab iġġenerat fil-kamra jew it-trab fiż-żona kkontaminata biswit jiġi indott lejn in-naħa kontra r-riħ, sabiex it-trab ikun jista' jikkontamina ċ-ċippa. Dawn li ġejjin huma l-fenomeni ta' induzzjoni possibbli:

(1). Pjanċa għamja

F'kamra nadifa b'fluss unidirezzjonali vertikali, minħabba l-ġonot fuq il-ħajt, ġeneralment ikun hemm pjanċi għomja kbar li jiġġeneraw turbulenza fil-fluss tar-ritorn lokali.

(2). Lampi

L-attrezzaturi tad-dawl fil-kamra nadifa se jkollhom impatt akbar. Peress li s-sħana tal-lampi fluworexxenti tikkawża li l-fluss tal-arja jogħla, ma jkun hemm l-ebda żona turbulenti taħt il-lampi fluworexxenti. Ġeneralment, il-lampi fil-kamra nadifa huma ddisinjati f'forma ta' demgħa biex inaqqsu l-impatt tal-lampi fuq l-organizzazzjoni tal-fluss tal-arja.

(3.) Lakuni bejn il-ħitan

Meta jkun hemm lakuni bejn diviżorji b'livelli differenti ta' ndafa jew bejn diviżorji u soqfa, it-trab miż-żona b'rekwiżiti baxxi ta' ndafa jista' jiġi trasferit lejn iż-żona biswit b'rekwiżiti għoljin ta' ndafa.

(4). Distanza bejn il-magna u l-art jew il-ħajt

Jekk id-distakk bejn il-magna u l-art jew il-ħajt ikun żgħir ħafna, dan jikkawża turbulenza ta' rebound. Għalhekk, ħalli distakk bejn it-tagħmir u l-ħajt u erfa' l-magna biex tevita li l-magna tmiss direttament l-art.


Ħin tal-posta: 05 ta' Frar 2025